テクノロジー 【フォトリソグラフィ】最先端の半導体露光装置が数ナノメートルの表面加工できる仕組み
次世代フォトリソグラフィEUVについて解説しました。
EUVフォトリソグラフィ技術には様々な技術が集結していますが、今回はEUV光源を調べてみました。非常に難解です･･･。
動画を作成する際に下記のリンクを参考にしました。
・KO...
テクノロジー 
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